| Υλικό | SS 304 |
|---|---|
| temp σχεδίου | 1000c |
| Ακρίβεια ελέγχου ροής αερίου | 1%SP |
| Υγρή καθορισμένη ακρίβεια ροής | 1.5%FS |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | 0.02MPa |
| Υλικό | SS 304 |
|---|---|
| temp σχεδίου | 1000c |
| Ακρίβεια ελέγχου ροής αερίου | 1%SP |
| Υγρή καθορισμένη ακρίβεια ροής | 1.5%FS |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | 0.02MPa |
| Υλικό | SS 304 |
|---|---|
| temp σχεδίου | 1000c |
| Ακρίβεια ελέγχου ροής αερίου | 1%SP |
| Υγρή καθορισμένη ακρίβεια ροής | 1.5%FS |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | 0.02MPa |
| Υλικό | ΣΥ304 |
|---|---|
| Αέριο μεταφορέων | Αυτός, AR, Ν2, H2 |
| Αγνότητα αερίου μεταφορέων | >99.995% |
| Ανιχνευτής | Ανιχνευτής μικροϋπολογιστών TCD |
| Μέθοδος ελέγχου | Αυτόματος έλεγχος λογισμικού |
| Υλικό | SS 304 |
|---|---|
| temp σχεδίου | 1000c |
| Ακρίβεια ελέγχου ροής αερίου | 1%SP |
| Υγρή καθορισμένη ακρίβεια ροής | 1.5%FS |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | 0.02MPa |
| Υλικό | SS 304 |
|---|---|
| temp σχεδίου | 1000c |
| Ακρίβεια ελέγχου ροής αερίου | 1%SP |
| Υγρή καθορισμένη ακρίβεια ροής | 1.5%FS |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | 0.02MPa |
| Υλικό | SS 304 |
|---|---|
| temp σχεδίου | 1000c |
| Ακρίβεια ελέγχου ροής αερίου | 1%SP |
| Υγρή καθορισμένη ακρίβεια ροής | 1.5%FS |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | 0.02MPa |
